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應用領域 ：
- 光電產業 : 應用於上.中.下游之相關製程設備(LED, LD, EL, ITO,光纖等光電產品)
‧上游 : 磊晶片成長 PE-CVD, LP-CVD, LPE
‧中游 : 晶粒製造 E/B evaporator, R/H evaporator, Asher
‧下游 : 晶粒封裝 Plasma cleaner
‧平面顯示器 : Inline sputtering system
- IC封裝
‧Bump metallizer : sputter system
‧Bump etching : PR asher
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